学术讲座 微纳加工中的薄膜表征及测量设备简介 演讲人：马续航 时间：2023年10月12日 16:15 地点：检测中心楼M101会议室 内容：主要介绍微纳加工中常见的薄膜厚度的各种表征方式及测量，以及薄膜光学特性、力学特性的测量及表征介绍。
