接触式曝光机的紫外曝光工艺及应用

微米级线宽的紫外曝光，需要使用涂胶机、烘胶台、光刻机和显微镜等设备进行配套工艺操作。讲座将概述在整个工艺流程中常见的工艺问题和现象，为在工艺实验前规避这些问题，提高实验效率缩短实验时间，提供一些方法、技巧、启示。