学术讲座 接触式曝光机的紫外曝光工艺及应用 演讲人:王尧 博士 时间:2023年10月26日 16:15 地点:检测中心楼M101会议室 微米级线宽的紫外曝光,需要使用涂胶机、烘胶台、光刻机和显微镜等设备进行配套工艺操作。讲座将概述在整个工艺流程中常见的工艺问题和现象,为在工艺实验前规避这些问题,提高实验效率缩短实验时间,提供一些方法、技巧、启示。